聚光科技是ASML核心供应商的重要供应商
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日期:2022-01-25 20:13:05
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1月25日,聚光科技回应称,该公司是ASML核心供应商A公司的重要供应商。
聚光科技表示,公司是荷兰ASML光学设备核心供应商A公司的重要供应商,为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元件光场匀化器。相关商业信息请以官方披露为准。
在上周的Q4财务报告会议上,ASML确认将推出下一代高NAEUV光刻机,NA值从0.33提高到0.55,进一步提高光刻分辨率,是制造2nm及以下工艺的关键设备。
Q4季度,ASML还增加了71亿欧元的新订单,其中销售了一套NA0.55高值孔径EUV光刻机,这是ASML的下一代光刻机Intel高达3亿美元,约19亿元。
在过去的四年里,Intel实际上订购了6台NA0.55的EUV光刻机,其中有两种。Twinscanexe5000系列主要用于工艺研发,产能输出为185WPH,每小时生产185片晶圆,2023年上半年交付。
NA0.55光刻机是Twinscanexe5200,产能提升到200WPH,每小时200片晶圆,预计2024年下线,Intel20A工艺正好在2024年量产。
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